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scanning electron microscope image, electron spot X-ray microanalysis, X-ray spectrum from an EDX (EDS) system, with element identification (qualitative analysis)    
ColorSEM / element imaging with microelectronics devices (transistor) using X-ray microanalysis / X-ray spectrometry secondary electron image of a transistor surface with SEM (Scanning Electron Microscope) higher magnification / X-ray imaging with Energy Dispersive X-ray spectrometer (EDX / EDS) / X-ray microanalysis


Zur Einstimmung
Die Elektronenstrahl Mikroanalyse ('ESMA' oder Electron Probe Microanalysis 'EPMA') mit einem energiedispersiven Röntgenspektrometer EDX (Energy Dispersive X-ray Spectrometer) ist zu einer sehr verbreiteten Analysenmethodik geworden. Als leistungsfähige Mikroanalysentechnik mit minimal nachweisbaren Substanzmengen von weniger als 0.1 Pikogramm wird sie auf Grund ihres relativ geringen gerätetechnischen Aufwandes in allen Gebieten der Naturwissenschaften, Medizin und Technik eingesetzt, überall dort, wo auch (Raster-) Elektronenmikroskopie ('REM' oder Scanning Electron Microscopy 'SEM') betrieben wird.

Der "Mikroanalytiker" hat ein sehr interessantes Arbeitsfeld. Er oder sie dringt ein in die Welt mikroskopischer Dimensionen. Mit dem Vergrößerungsregler am Elektronenmikroskop wird die Mikrowelt...

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und Veröffentlichungen des Autors und von Partnern zur Thematik X-Ray Spectrometry, EDX und Microanalysis!

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Letzte Aktualisierung:    18.01.2015                                              ©    Frank Eggert (falls nicht anders angegeben)


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